真空闸板阀关键结构件的力学分析与优化研究

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真空闸板阀是真空系统不可或缺的组成部分,具有连通管路、切断管路和调节气体流量的作用,被广泛地用于工程中。本文首先对真空闸板阀的构成及其相关的理论进行了介绍。目前,通常只有对环境洁净度有极高要求的大平板液晶显示器制造、半导体加工制造业以及对撞击光束线等领域内的真空系统才会使用真空闸板阀。与国外相比,我国生产制造的真空闸板阀无论是在清洁度、放气率还是漏气率方面的水平都相对较低,另外,作为一种真空元件,真空闸板阀存在使用寿命短的缺陷,这在很大程度上增加了真空系统的运行成本。从八十年代开始生产至今,我国阀门行业无论是在阀门设计还是阀门生产制造方面都取得了巨大的进步。但与欧美国家相比,我国阀门产品的质量参差不齐,而且无论是检测水平还是制造工艺都尚处于较为落后的状态,根本没有实力叩开国际市场大门。所以,改革和创新我国阀门行业的设计、开发和制造技术已势在必行。本文基于闸板阀的结构特征、运动机构工作原理,从闸板阀结构有限元分析和运动机构优化设计两个大方面展开研究。应用有限元ANSYS分析软件建立了阀壳结构模型,进行结构应力和变形的力学计算,基于模型分析结果,采用减少壁厚尺寸的方法,在保证结构强度和刚度等指标前提下,优化了阀壳结构,减少材料与制造成本。基于理论力学,分析阀壳密封机构的运动特点,分析了不同结构在各个临界点的状态,并对轴承寿命进行了校核。针对双四杆结构的设计参数,基于最优化原理优化完成四杆机构杆截面积和杆长优化设计,以保证连杆受力均匀,传动更为平稳。本文通过对真空闸板阀阀壳结构力学特性和密封机构运动学研究,提出了对闸板阀结构进行优化的建议,以期增加闸板阀使用寿命,从而最大限度的发挥真空系统的作用和价值,其研究结果为阀壳结构和密封机构的设计提供依据。
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