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对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍．与硅压阻器件相比，本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式，实现了较高的压阻灵敏度；采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器件的加工，较好地实现了工艺的兼容．通过对结构进行模态仿真，确定了陀螺的固有频率．