【摘 要】
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为减小平面微电机轴向尺寸,解决轴向单边拉力问题,制作了双转子平面微电机.定子采用平面结构,双面各呈辐射状均布平面线圈,正、反面相对应的线圈由穿过基底的引线相连.采用以
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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为减小平面微电机轴向尺寸,解决轴向单边拉力问题,制作了双转子平面微电机.定子采用平面结构,双面各呈辐射状均布平面线圈,正、反面相对应的线圈由穿过基底的引线相连.采用以准LIGA技术为基础的制作方法.在双面线圈定子制作工艺中,通过设计适当的工艺步骤,并控制甩胶、前烘与曝光条件,在已腐蚀出引线通孔的衬底上完成双面光刻并电铸孔引线的工艺过程.定子直径为23mm,孔引线边长500μm,深约400μm,线圈线宽100μm,高度35μm.装配后的电机测试结果表明电机运行平稳,力矩波动小.
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