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基于严格的光学成像矢量衍射理论，以4倍缩小倍率的成像系统和x线偏振光照明为例，得到经光瞳滤波器调制的大数值孔径光学系统焦区横向场表达式．通过详细研究非对称三区复振幅型光瞳滤波器的内外环归一化半径、各环相位分布和第一层透过率t对y方向分辨率增益比Gty斯特尔比Sy和第一旁瓣与主瓣相对强度Iry的影响．设计了一种非对称三区相位型光瞳滤波器，实现Gty=0．8345，Sy=0．4087，Iry=0．4923，使得y方向分辨率比没有加光瞳滤波器时提高了将近20％．