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介绍了聚合物Parylene，包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用，包括微阀、微泵和微通道；在可植入微系统中的应用，包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明，基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上，Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。