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目前在用电容薄膜真空计存在体积大、重量重等问题，无法满足深空探测中真空测量需求，因此设计了一种具有外形尺寸小、重量轻、工作温度范围宽等特点的小型电容薄膜真空计。在已经建立的金属膨胀式真空标准装置上对小型电容薄膜真空计的线性、稳定性、重复性等各项性能进行了反复的实验研究。实验结果表明，小型电容薄膜真空计具有良好的线性，重复性和稳定性的计算结果均能满足火星探测要求。