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根据大电流密度器件对欧姆接触的要求,研究了如何获得高质量的Ti-Ni-Ag欧姆接触层的方法,并成功应用于生产.
大电流密度器件的欧姆接触
【摘 要】
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根据大电流密度器件对欧姆接触的要求,研究了如何获得高质量的Ti-Ni-Ag欧姆接触层的方法,并成功应用于生产.
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2002年4期
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