电容式z轴微机械陀螺的噪声抑制

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haohade
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
将z轴微机械陀螺两个模态的机械噪声效应等效为各自在单位噪声力作用下的振动,根据陀螺的工作原理得到两个噪声力作用下陀螺敏感模态的机械输出噪声。建立了包含运放和电路板非理想因素在内的接口电路的噪声模型。结合机械噪声模型和接口电路模型噪声,建立了包括结构参数和电路最小检测电容量在内的陀螺的噪声等效输入角速度模型,为陀螺的设计优化提供了参考。分析了结构参数对陀螺等效输入角速度噪声影响,并采用两个参数不同的电容式z轴微机械陀螺进行了实验。结果表明,通过结构参数的调整,将电容式z轴微机械陀螺的输出噪声从414μV/√
其他文献
介绍了氧化锌(ZnO)纳米线(NW)的性质,总结了ZnO NW的气相法、液相法、模板生长法、自组装法等制备原理和方法,详细阐述了ZnO NW基光电、压敏和气敏等纳米器件的研究现状,如在发光二
为解决向量空间模型中文本结构和语义信息的缺失问题,本文提出将复杂网络应用到中文文本分类过程中,将文本表示为以特征词为节点,以词语语义相关关系为边,以其相关关系强弱作为边
首先对中文社会科学引文索引数据库中收录的1998~2011年的3114篇国内知识管理研究文献分别从时间、机构、作者和期刊分布四方面进行时空维度分析,再利用信息可视化分析软件绘制
本文针对客观知识体系中相邻的语义关系对组合的可能性问题即语义关系可组合性问题,以WordNet为背景,基于客观知识体系中概念间语义关系网的构架特点,设计了语义关系对可组合
介绍了GaN基材料的基本特性、三种主要外延生长技术(MOCVD、MBE、HVPE)、衬底材料的选择及缓冲层技术;分析得出目前存在的GaN体单晶技术不完善、外延成本高、衬底缺陷及接触电阻
本文首先根据方志文献的行文特征,设计一个统一规范的方志文献文档处理格式,用于文本文档的预处理。本文建立方志全文数据库,并基于数据库构建一个物产挖掘系统,进行物产信息
本体语义互操作可以有效促进相关本体基于语义的互联互通。目前,异构本体的语义互操作主要是通过本体映射来实现。本文以医学领域中的公共卫生领域疫情监测本体与医学领域顶