【摘 要】
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对二元光学元件激光直写设备实时调焦伺服系统的要求与实现方法进行了较为全面的介绍,并分析了影响调焦伺服系统性能的主要因素.提出了采用BP神经网络对离焦信号进行线性化处
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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对二元光学元件激光直写设备实时调焦伺服系统的要求与实现方法进行了较为全面的介绍,并分析了影响调焦伺服系统性能的主要因素.提出了采用BP神经网络对离焦信号进行线性化处理,同时采用压电陶瓷作为执行元件,并进行动态非线性补偿;可大大提高调焦伺服系统的精度与带宽.同时,在线估算离焦信号的带宽,以此调节刻划的速度,可大大提高刻划的效率.
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