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拍频式法-珀干涉微位移测量具有溯源到时间频率的特性,在测量过程中对于频率变化量的实时测量的要求很高。传统的串行数据采集方式实时性较差,间接地降低了测量结果的精度。针对此问题,将轻量级并行编程技术应用到微位移测量系统中,提高测量数据的实时采集速率。在此基础上设计一种寻峰算法来提高微位移测量中透射光强在峰值处的稳定性。实验结果表明,优化后的测量软件的运行效率得到显著提升,软件实现的寻峰算法在50次寻峰过程中的全局误差保持在6 mV左右,局部误差保持在2～3 mV,该算法可以满足后续位移解调的光强峰值稳定