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针对耦合型超薄悬臂梁阵列释放过程中发生的粘附现象,采用背面湿法腐蚀的释放工艺,研究了液体表面张力对悬臂梁释放时的影响。通过改变悬臂梁释放时的液体环境和清洗方法,降低液体表面张力,避免悬臂梁的粘连,成功制备出长为220μm,宽为10μm,厚为220nm的超薄悬臂梁,成品率可达100%。
耦合型超薄悬臂梁阵列释放工艺分析
【摘 要】
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针对耦合型超薄悬臂梁阵列释放过程中发生的粘附现象,采用背面湿法腐蚀的释放工艺,研究了液体表面张力对悬臂梁释放时的影响。通过改变悬臂梁释放时的液体环境和清洗方法,降
【机 构】
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室,中国科学技术大学苏州研究院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2015年1期
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