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为测量气体放电磁化等离子体离子参数，建立了一套静电离子探针诊断系统，进行了从近芯部到边缘区的离子温度分布的测量，结果与常规朗缪尔探针对电子参数的测量结果吻合。
静电离子探针在气体放电磁化等离子体参数测量中的应用
【摘 要】
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为测量气体放电磁化等离子体离子参数，建立了一套静电离子探针诊断系统，进行了从近芯部到边缘区的离子温度分布的测量，结果与常规朗缪尔探针对电子参数的测量结果吻合。
【机 构】
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中国科学技术大学近代物理系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2001年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目
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