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利用化学气相沉积实验研究了不同的条件对沉积的金属薄膜的特性进行了系统的研究。
化学气相沉积法芯片沉积研究
【摘 要】
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利用化学气相沉积实验研究了不同的条件对沉积的金属薄膜的特性进行了系统的研究。
【机 构】
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丽水学院理学院
【出 处】
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科学时代
【发表日期】
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2004年期
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