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近年来，随着科学技术水平的不断发展，航天航空工业、微机械工业、生物工程等都有了很大的发展，这些行业的发展离不开精密微小零件的发展。目前，精密微小零件的发展方向愈加多元化，结构特征也愈加复杂。相关行业对精密微小零件的各种功能和使用稳定性的要求也越来越高。在这种环境背景下，进行有关超精密微小零件的研究十分必要。本文将结合目前超精密微小零件发展的现状，开展有关超精密微机械制造技术的研究，希望能对我国未来超精密微机械制造技术的发展有所帮助。