超精密加工相关论文
随着现代集成制造系统的问世及切削速度不断加快，对刀具性能提出更高的要求，切削刀具逐步向高效加工、硬加工、干式加工、超精密加工......
超精密加工技术是一种精度极高的机械加工技术,能够获得亚微米级形状精度以及纳米级表面精度的制品,主要应用领域为核能、集成电路......
辅助设备采集到的超精密加工设备姿态数据的准确性会影响后期轨迹跟踪精度。结合大数据分析，设计一种激光辅助超精密加工轨迹跟踪方......
微小型车铣复合加工机床可实现一次装夹完成大部分零件加工工序，是微小型复杂结构件加工必不可少的数控设备，作为精密加工数控设备，其......
氟化钙（Calcium fluoride,CaF2）晶体是一种非常重要的光学晶体，因其具备高透射率和良好的长期辐射稳定性被广泛应用于光学仪器中。随......
回复反射器是一种十分常见的光学元件,它能将一定角度范围内的入射光线平行或近似平行于入射方向返回到光源处。经过数十年的研究......
镍基高温合金在高温下可保持较高的机械和化学性能,广泛应用于航空航天、船舰和石油化工等领域。但镍基高温合金是公认的难加工材......
超精密加工指能加工出具有纳米级表面粗糙度和亚微米级几何形状精度表面的技术。用单晶金刚石刀具进行的切削过程通常被称为单点金......
超精密加工技术是现代高端装备制造的支撑技术,不断提高加工质量是该领域研究和发展的首要目标,超精密加工机床的动态特性与环境微......
作为一种光学微结构,微透镜阵列已被广泛应用于通讯、照明、成像等领域,超精密加工技术是当前创成微透镜阵列的主要方法之一。近年......
在超精密加工过程中机床状态、切削工艺参数、材料性能及刀具磨损等因素都可能对表面粗糙度造成较大的影响,而如何对加工工件表面......
单晶硅（Si）具有优异的物理机械性能,被广泛的应用于微电子行业。然而,由于其高硬度高脆性的特点,单晶硅内总是包含裂纹夹杂等一系列......
钛合金具有优良的使用性能,如低密度、耐腐蚀性、比强度高等,在航空,生物医疗和其他领域得到广泛应用。然而,由于具有优良性能的同......
超精密加工技术在不断朝着加工方法多样化、加工材料广泛化、加工结构复杂化、加工精度精细化发展的同时,对表面轮廓形貌的准确表......
近年来,电子、医药、航空航天等行业对高质量微孔结构的需求量日益增加,但加工精度低、加工半径尺寸受限、在复杂零件上加工困难等......
研制了一款高频响、高精度及大驱动力的压电驱动型快速刀具伺服(Fast Tool Servo,FTS)装置,采用广义圆锥线拟合的柔性铰链构造新颖......
超精密加工是代表世界制造业发展水平的高精尖技术。超精密机床是赖以实现超精密加工的硬件基础,在航空航天、光学仪器、现代化武......
氧化镓(β-Ga2O3)单晶是继碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)之后,制造超高压功率器件、深紫外光电子器件、高亮度LED等高性能半导体器件的......
在激光核聚变、大型天文望远镜等国家大光学工程及各种光机电产品的驱动下,高面形精度、高表面质量、多结构型式光学组件的需求量......
在超精密切削加工中,进刀量的控制是非常重要的一个方面,而现在机床上常见的进刀机构远不能实现超精密切削的要求,本文介绍一种可......
氟化钙晶体微腔相比玻璃材料微腔,具有吸收系数小、缺陷少、纯度高、对周围环境湿度不敏感的优势,在微波光子学、陀螺仪和非线性光......
随着科技的发展和社会的进步,对产品的加工精度的要求越来越高,超精密加工综合了多种技术,是作为获得高精度产品的必要手段。超精......
微透镜阵列单元直径通常在微米级别,具有单元结构尺寸小,集成度高以及光学功能丰富等特点。随着光电技术的迅猛发展,对微透镜阵列......
过去的研究表明,工件表面粗糙度和残余应力这两个衡量表面质量的指标对机械零件的使用性能和寿命均会有直接的影响,表面粗糙度的大......
菲涅尔透镜是一种光学元件,由于其具有小型化、重量轻和出色的光学性能,具有广泛的应用领域,例如光电子、光子器件、先进的照明系......
关节轴承具有在重载荷、大转矩等工况环境中高效运转的特点,因而被广泛应用于高铁列车中。这种使用要求苛刻的多因素条件,极易造成......
科学技术的发展日新月异,各种高精度、高表面质量的零件被广泛应用于国防军工、航天航空、分子结构医学等尖端科技领域。超精密加......
基于激光晶体的光学元件是大功率光学工程中的基础性元器件,其激光损伤阈值极大地决定了整体系统的寿命,极限性能和稳定性等。然而......
现代电子信息、光电子学、半导体等技术的发展,对精密与超精密加工技术提出了越来越高的要求。随着精密与超精密加工为高端制造业......
对单相晶体结构和硬质合金的粘合特性的理论分析表明,对其进行延性超精密加工是可行的,并在普通加工中心上通过对切削力的监控,用......
介绍了国内外一些超精密技术应用在微机械加工中的方法。
Introduced a number of domestic and foreign ultra-precision techno......
介绍了用于分析起精加工的原子力显微镜。其垂直方向和水平方向的分辨率可达纳米级，测量范围可达140×140μm。采用探头扫描方法和......
通过结合自已的实际工作，分别从伺服进给机构，位置检测技术，数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明......
<正>研磨是精密和超精密加工中的一种重要加工方法。随着科学技术的进步,人们对加工精度的要求日益提高,对研磨加工的需求也越来越......
摘 要：作为伺服压力机中一个关键的零部件，连杆的加工精度会影响整个伺服压力机的加工精度，连杆大小头孔的精度，作为整个连杆的关键部......
随着精密与超精密加工技术的不断发展和成熟,将振动辅助切削技术应用到精密与超精密加工中去已成为发展的一个必然趋势。结合国内......
大气等离子体抛光(APPP)是一种非接触式的化学刻蚀加工方法,具有效率高、成本低、精度高等优点,可以作为碳化硅(SiC)加工的一种有......
本文简要介绍当前国内外超精密机床的发展概况及构成超精密加工机床的关键技术部件,详细地综述了应用于超精密加工的控制策略。超......
摘 要：通过对超精密车床、超精密加工材料特性、超精密加工刀具、超精密切削用量、加工冷却液及超精密检测技术等进行分析研究，总结......
该文密切结合教育部资助项目,以开发纳米级数控机床辅助工件平台为目标,以压电材料科学、弹性铰链理论、计算机控制技术为基础,系......
高精尖极端制造技术是制造业发展的必然趋势之一，超精密加工技术则是以不断提高加工精度为目标的工程科学与技术，是一种典型的极端制......
该文以单晶硅为例,进行了纳米加工量级的计算机仿真.采用与常规连续力学理论有显著不同分子动力学方法,建立了刀具和工件的原子模......
具有各种形式微结构的光学薄膜在液晶显示、LED照明、光学仪器等领域应用广泛,市场需求巨大。辊子是微结构光学薄膜模压制造的核心......
