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介绍一种电子气体NF3的充装流程、设备及厂房的选择,并讨论了充装过程安全设计的要点.
三氟化氮充装系统设计和安全讨论
【摘 要】
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介绍一种电子气体NF3的充装流程、设备及厂房的选择,并讨论了充装过程安全设计的要点.
【机 构】
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昊华气体有限公司,河南 洛阳471000
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2021年6期
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