三氟化氮相关论文
[摘 要]介绍三氟化氮气体的用途、生产工艺及和利时MACS-K系统的特点，主要阐述MACS-K自动控制系统在电解法生产三氟化氮中的网络结......
对三氟化氮(NF3)的裂解反应,尤其是在金属、非金属存在条件下的裂解反应情况作了分析,并使用热力学方法对NF3与多种金属的反应进行......
高纯三氟化氮气体在电子工业中有着广阔的应用前景,在生产过程中常存在微粒子的污染问题,本文介绍了目前工业化生产三氟化氮(NF3)......
本文简要介绍了电解法制备三氟化氮气体工艺特点,及在电解工业生产中存在的电解电压、温度波动不易控制,电解液的酸度和氨含量呈下......
NF3是一种用于半导体工业的新型蚀刻气和清洗剂,使用量逐年攀升。研究发现NF3是一种温室气体,其温室效应潜值(GWP)为17200,大气寿......
一世界市场rn光伏化学品按种类分为工业气体、湿法化学品和金属糊剂三大品种.rn工业气体主要用于薄膜沉积等应用.光伏产业使用的工......
用选择离子监测(SIM)方式测定了高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量六氟化硫(SF6).采用poraPLOT Q毛细管色谱柱ψ30 m×0.32 mm×......
用Mn（NO3）2和Cr（NO3）3溶液浸渍MgO制备了Mn／MgO和Cr／MgO系列脱氟剂；考察了无水条件下，NF3在Mn／MgO和Cr／MgO上的分解反应，并对反应前后的脱氟剂......
氟化碳是一种高储能密度锂原电池的正极材料,材料晶相结构对其电化学性能有重要影响。以NF3为氟化剂对多种碳源进行氟化,制备了不......
采用共沉淀法制备了n（Co）：n（Al）=0．1～4．0的Co—Al复合氢氧化物，再经焙烧得到Co-Al复合氧化物，对Co-Al复合氧化物进行了XRD和N2吸附-脱附表征......
为提高电极的应用时间、提高电解槽的电流效率、降低镍对电解质的污染和降低生产成本，将现行制备三氟化氮（NF3）的阳极材料由镍换为碳......
利用三波长红外光谱分析法测定三氟化氮用液氨中的矿物油含量。研究结果表明，该方法简便、有效，且对不同种类的矿物油具有普适性。利......
本研究采用带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪,并结合阀切割技术,建立高纯三氟化氮中多种痕量杂质的气相色谱快速检测方法。结......
在电解生产NF3过程中,电解液小电流除水阶段的电解气体中含有大量的NF3,若将其直接放空,势必造成环境污染,并损失大量的NF3气体.本......
建立了测定高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量一氧化二氮(N2O)的选择离子监测(SIM)方式的气相色谱/质谱法。采用Porapak Q PLOT毛细管色......
阐述了采用气相色谱法加中心切割、反吹的方法测定高纯四氟化碳中的微量三氟化氮杂质,此方法可靠,操作简单。通过多次实验对过程中......
本文利用色谱/质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定.采用选择离子监测(SIM)方式测定,定量选择离子m/z为69,方法简单、准确、选择......
三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,广泛应用于微电子工业中。本文阐述了目前工业生产中NF3的主要制备方法:化学氟化和......
随着我国电子信息产业的迅猛发展,硅烷、三氟化氮、氧化亚氮等电子气体也得到了快速发展和应用。但是,由于硅烷等介质属于易燃、易......
<正>中国船舶重工集团公司第七一八研究所已建成全国最大的半导体、液晶用特种气体研发生产基地。本世纪初,在我国加快推进军民融......
公司在参与全球市场竞争的过程中,需要时刻关注公司的成本。对公司的成本加以严格的控制,以便节约不多的资源,培育公司的核心竞争......
建立了气相色谱-电子捕获检测器测定环境空气中NF3的检测方法。样品经现场采集后直接进样分析。NF3的浓度在0.1~10.0μmol·mo......
以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过......
<正>【本刊讯】电子特种气体被称作电子工业的"血液"。中船重工718所副所长郭建增介绍说,718所将努力打造成为世界重要的电子特种......
介绍了三氟化氮（NB）的基本物化性质及生产方法。为了满足电子工业对其纯度要求，采用的三氟化氮纯化方法有：低温精馏法、共沸精馏法、吸......
黎明化工研究院在洛阳众多的研究机构中有着独特的优势,所从事的化工新材料和化学推进剂原材料的研究开发和生产在国内属于顶尖级......
高纯度的三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。针对NF3气体中CF4杂质采用常......
<正>当我们在想方设法降低二氧化碳等温室气体的排放时、当我们在享受信息时代的便利和喜悦时,新的公害又出现了,这就是温室气体的......
目前,三氟化氯正被研究作为一种半导体干气体蚀刻剂。这是因为它有很高的蚀刻速率和选择性。由于这种气体刚用于电子工业,故本文将......
本文概括了国外三氟化氮的发展情况,介绍了三氟化氮的性质、制备、用途和特点,特别指出它在环保方面的优点。三氟化氮是电子工业用......
介绍了三氟化氮的主要性质、用途,对国内外三氟化氮的制备工艺及纯化方法进行了比较,同时对国内外三氟化氮市场进行了分析和预测。......
电解法制得的氟气含有氮气、氟化氢和四氟化碳等杂质。利用氯化钠与氟气反应生成氯气，经NaOH溶液吸收氯气后用普通的气相色谱测定其......
为了实现三氟化氮生产及灌装车间三氟化氮气体的泄漏监测,研究了一套基于超高温裂解原理的三氟化氮泄漏在线监测系统。该系统采用M......
<正> 三氟化氮,NF3:是无色透明的气体。m.p-206℃;b.p-129℃;d（-129℃） 1.537g/c.c.;Pcrit.45kg/cm2。不溶于水,室温稳定,可贮存在钢......
建立了测定空气中痕量三氟化氮的气相色谱分析方法。采用专属性实验验证杂质含量对待测组分测量值的影响。利用红外光谱和质谱法对......
三氟化氮(NF3)是一种无色、无味的有毒不可燃气体。它具有较强的氧化能力,可用作火箭助推燃料的氧化剂；与某些气体混合,则可用于等......
