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介绍了TDL-Ta60型单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.
TDL—Ta60型单晶炉的研制
【摘 要】
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介绍了TDL-Ta60型单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.
【机 构】
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西安理工大学
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年1期
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