论文部分内容阅读
在双层、异型硅外延中，通常采用预通掺杂剂二步外延法。本文对掺杂剂预通过程中产生的气一固扩散进行理论及实验研究，分析了预通条件（温度、时间、预通量等）对气一团扩散的影响，提出了减小Ｐ－Ｎ过渡区改进的二步外延法。
改进的二步法生长双层、异型硅外延材料
【摘 要】
：
在双层、异型硅外延中，通常采用预通掺杂剂二步外延法。本文对掺杂剂预通过程中产生的气一固扩散进行理论及实验研究，分析了预通条件（温度、时间、预通量等）对气一团扩散的影响，提
【机 构】
：
南京电子器件研究所
【出 处】
：
固体电子学研究与进展
【发表日期】
：
1994年01期
其他文献
摘要:文章运用文献研究法、逻辑法,结合休闲体育与体育传媒的发展现状,对休闲体育对体育传媒作用进行了具体分析。结果表明,休闲体育与体育传媒的互动,不仅满足了大众对体育信息资讯的多元化需求,也为两者创造了一个互相促进、互为发展的平台。 关键词:休闲体育 体育传媒 互动 可行性 必要性 休闲体育与体育传媒在现代社会中占据着越来越重要的位置,两者关系密切。2008年北京奥运会的成功举办进一步促进了