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采用微波等离子体CVD法,在其它生长条件和参数不变情况下,研究温度对制备金刚石膜的影响.通过扫描电镜、X射线衍射分析仪和拉曼光谱对样本的形貌和金刚石膜的质量进行了表征.
微波等离子体CVD金刚石膜的温度效应
【摘 要】
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采用微波等离子体CVD法,在其它生长条件和参数不变情况下,研究温度对制备金刚石膜的影响.通过扫描电镜、X射线衍射分析仪和拉曼光谱对样本的形貌和金刚石膜的质量进行了表征.
【机 构】
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常熟理工学院物理与电子工程学院,常熟理工学院江苏省新型功能材料重点建设实验室
【出 处】
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常熟理工学院学报
【发表日期】
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2011年4期
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