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经过严格论证,提出一种计算简便,易于软件实现的电子束束斑直径定义方法,在此基础上运用Monte Carlo方法对高斯分布电子束斑进行模拟,给出模拟电子数分别为5000、20000、50000、100000时的模拟结果.
电子束曝光高斯分布束斑的Monte Carlo模拟
【摘 要】
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经过严格论证,提出一种计算简便,易于软件实现的电子束束斑直径定义方法,在此基础上运用Monte Carlo方法对高斯分布电子束斑进行模拟,给出模拟电子数分别为5000、20000、5000
【机 构】
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中国科学院微电子中心微光刻实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年3期
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