微尺度下N2–O2电晕放电的动态特性二维仿真

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微纳电离式气体传感器基于微尺度放电原理,具有响应快、精度高、易集成等特点,有望实现对气体的快速准确检测.目前缺少对该新型传感器极间放电过程的系统分析.对此本文采用流体-化学动力学混合方法,建立了常温常压下大气中N2-O2混合气体在微米间隙-纳米尖端场域的二维空间放电模型,并通过分析空间电子输运机制、放电电流密度、空间电场强度之间的相互耦合关系,阐明了该场域下空间放电的动态发展过程,完善了微纳电离式气体传感器内部放电机理,且分析了不同极间距对空间放电的影响规律.结果表明:该场域下空间电场随正负离子的产生与消
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