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主要讨论1/4波片误差对椭偏法测量薄膜厚度及折射率等参量的影响,质量理想的波片以及方位角的误差对PCSA系统测量结果的影响。
分析1/4波片对椭圆偏振法测量误差产生的原因
【摘 要】
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主要讨论1/4波片误差对椭偏法测量薄膜厚度及折射率等参量的影响,质量理想的波片以及方位角的误差对PCSA系统测量结果的影响。
【机 构】
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绥化学院物理与电子信息系
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2007年07X期
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