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利用电磁力驱动微拉伸装置,考察多晶硅微构件表面粗糙度和施加表面分子自组装膜(octadecyltrichlorosilane,简称OTS)对抗拉强度及断裂损伤的影响.结果表明,微构件的抗拉强度表现出依赖表面性质的表面效应.抗拉强度随表面粗糙度的增加而降低,并受环境气氛的影响.当构件表面施加表面分子自组装膜后,在以上两因素的作用下,多晶硅微构件的抗拉强度提高了32.46%.研究结果可用于微机械构件的材料表面改性设计.