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表面分子自组装膜相关论文
多晶硅微机械构件损伤的表面效应
利用电磁力驱动微拉伸装置,考察多晶硅微构件表面粗糙度和施加表面分子自组装膜(octadecyltrichlorosilane,简称OTS)对抗拉强度及......
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表面分子自组装膜
Micro-elecetro-mechanical system(MEMS)
Polysilicon
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