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在室内环境控制领域,对作为信号转换反馈节点的气体传感器提出了2大挑战:一是气体浓度变化范围大;二是许多具有相似化学性质的不同气体混合物难于快速辨识。为解决上述难题,文中提出了一种兼容微电子机械系统(micro-electromechanical systems,MEMS)制造工艺的、带有微纳米功能结构硅材料的电离式气体传感器,并且在含有乙醇和丙酮等挥发性有机化合物(volatile organic compounds,VOC)的环境下进行了传感器响应特性测试。实验结果表明,该传感器在接近饱和蒸气压的极端环