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<正>北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司(前身为北京建中机器厂)致力于半导体、集成电路设备的研究已有四十余年的历史,现有扩散系统、CVD系统、干法刻蚀系统、湿法清洗系统四大类产品。应用等离子体技术的有CVD系统和干法刻蚀
等离子清洗技术
【摘 要】
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<正>北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司(前身为北京建中机器厂)致力于半导体、集成电路设备的研究已有四十余年的历史,现有扩散系统、CVD系统、干法刻蚀系统、湿
【机 构】
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北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2003年08期
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