【摘 要】
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采用电子束蒸发镀膜技术,并结合本课题组自行设计的磁控滚动三维沉积装置,以及真空连续加料装置,在Ф1-2mm钢球上沉积碳化硼微球涂层.通过X射线光电子能谱（XPS）、扫描电子显微
【机 构】
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四JII大学物理系辐射物理及技术教育部重点实验室,四川大学高能量密度与物理技术教育部重点实验室,中国科学院国际材料物理中心
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采用电子束蒸发镀膜技术,并结合本课题组自行设计的磁控滚动三维沉积装置,以及真空连续加料装置,在Ф1-2mm钢球上沉积碳化硼微球涂层.通过X射线光电子能谱（XPS）、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）,对退火处理中不同保温时间的碳化硼微球涂层进行表征.结果表明,微球涂层硼碳比较小,有部分B流失;不同的保温时间对微球形貌的影响比较明显.随着保温时间的增加,微球表面粗糙度逐渐增大,但致密性和力学性能同时也得到相应加强.确定保温时间为1-3h为最佳退火保温条件.
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