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本文综合考虑电铸金刚石-镍复合膜沉积工艺参数与复合膜品质的关系，建立了一种复合膜品质预测的人工神经网络模型。该模型能够精确刻画电镀工艺参数与沉积结果之间的非线性关系，并且具有泛化能力。用所得到的神经网络模型对复合膜沉积结果进行分析预测，其预测值与实际样品测量值吻合，表明神经网络分析方法是有效的。