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报道了聚焦离子束装置的束径测量方法和典型测量结果。偏转离子束使其扫过金属栅网的边缘，由法拉第筒接收到的离子流强度变化所形成的Ｓ形电流曲线可确定束径大小。在数据处理中，采用了快速傅立叶变换滤波的办法来消除，微小电流测量结果中的噪声，从而可以对Ｓ型电流曲线进行微分，得到束流密度空间分布。在改变透镜光阑口径而维持靶室离子流强度不变的测量模式中，证实了离子间库仑相互作用增大束径的效应。