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首次给出了一种具有规律性的能用来提高镍硅化物热稳定性的方法。依据此方法，摸索出在Ni中分别以夹层金属掺入Pt、Mo、Zr、W金属来提高NiSi硅化物的热稳定性。概括总结了掺入难熔金属M后形成的三元镍硅化物Ni（M）Si热稳定性能。实验结果表明，Ni（M）Si硅化物薄膜四种镍硅化物薄膜有相同的热稳定性。以Ni／W／Ni／Si样品为例，经650-800℃快速热退火后，薄层电阻率保持较小值，小于3Q／□。XRD衍射、Raman光谱和AFM分析表明，Ni（M）Si薄膜界面平整，该薄膜中只存在低阻NiSi相，而没有