InP/GaAs材料和器件的直接键合

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:CBN_cntjlz
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用三步法在GaAs衬底上实现InP材料的键合,通过X-射线光电子谱(XPS)对样品键合界面进行化学价态和深度分布分析.结果表明,键合温度小于450℃时,样品界面主要由三维氢键网络组成;大于450℃时界面处发生互扩散,Ⅴ族元素主要在界面处富集,而Ⅲ族元素具有较深的扩散.因此提出界面层以InGaAs、InGaP为主,这种界面化学态的变化对样品的Ⅰ-Ⅴ特性和键合强度都具有实质意义的影响,同时由于异质结带阶的存在,要获得良好的电学性质和强度,键合温度并不是越高越好,而是存在一个最佳温度.最后,在GaAs衬底上成
其他文献
英国的Guardian网站9月28日报道,粒子物理学家检测到中微子的行驶速度超过了光速,这违反了爱因斯坦的狭义相对论。但是,这却让时间旅行变成了可能。
本报告借助于CiteSpace引文分析软件对“人工智能”这一主题的相关文章从共引文献、共引著者、共引期刊等多个角度进行可视化分析,根据图谱分析人工智能相关的研究现状及前沿
在风力发电机组运行的过程中,常常会发生很多的故障,因此,需要对发生的故障进行分析,查找原因,进而采取有效的维护措施,促进风力发电机组的良好运行。本文主要针对风力发电机组的运
1.菇房沼渣栽培蘑菇①沼渣准备:沼渣须在9月中下旬出池沥干,趁天晴将沼渣摊薄曝晒,去除未腐熟好的长残渣,曝晒时间应掌握沼渣湿度,以手紧捏指缝有水而不下滴为宜.经处理的沼
对使用简支梁调谐光纤光栅(FBG)波长的计算方法进行了分析,改进了传统计算公式,给出了计算光栅波长调谐量的解析式.与传统算法相比,改进算法可以直接通过梁的长度变化量计算