微波离子源聚焦离子束光学系统的研究

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设计了一种微波离子源的聚焦离子束光学系统,分析计算了光学系统的束径。并数值模拟了由空间电荷作用造成的束径增宽效应,找出了影响束斑大小的主要因素和减小束径的方法。测试结果表明,在束能在25keV时,束流为148nA,束径约为20μm左右。
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