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微波离子源聚焦离子束光学系统的研究
微波离子源聚焦离子束光学系统的研究
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cats2106
【摘 要】
:
设计了一种微波离子源的聚焦离子束光学系统,分析计算了光学系统的束径。并数值模拟了由空间电荷作用造成的束径增宽效应,找出了影响束斑大小的主要因素和减小束径的方法。测试
【作 者】
:
施立群
彭士香
冯慧云
陈斌
胡纯栋
王邵虎
余增亮
【机 构】
:
复旦大学现代物理研究所,中国科学院等离子体物理研究所!合肥230031
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
聚焦离子束
微波离子源
束径
光学系统
Focused ion beam
Microwave ion source
Beam size
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设计了一种微波离子源的聚焦离子束光学系统,分析计算了光学系统的束径。并数值模拟了由空间电荷作用造成的束径增宽效应,找出了影响束斑大小的主要因素和减小束径的方法。测试结果表明,在束能在25keV时,束流为148nA,束径约为20μm左右。
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