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本文介绍了半导体切割设备的发展概况以及趋势,各国的先进设备,将内圆切割和线切割进行技术分析和比较,介绍了该类设备的特点。
半导体材料切割设备概况
【摘 要】
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本文介绍了半导体切割设备的发展概况以及趋势,各国的先进设备,将内圆切割和线切割进行技术分析和比较,介绍了该类设备的特点。
【机 构】
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西北机器有限公司,
【出 处】
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才智
【发表日期】
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2009年29期
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