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采用感光性聚酰亚胺和高粘附性聚酰亚胺双层刻蚀技术 ,在基片上制备了微马达线圈的定子绕组。该工艺不仅工艺简单 ,而且保留聚酰亚胺作为线圈的绝缘层,提高了微马达线圈的绝缘性能和耐热性能 ,使微马达的整体性能得到了提高。
使用聚酰亚胺通过两次刻蚀制备微马达线圈
【摘 要】
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采用感光性聚酰亚胺和高粘附性聚酰亚胺双层刻蚀技术 ,在基片上制备了微马达线圈的定子绕组。该工艺不仅工艺简单 ,而且保留聚酰亚胺作为线圈的绝缘层,提高了微马达线圈的绝
【机 构】
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上海交通大学化学化工学院!上海200240 上海交通大学分析测试中心; 上海200030; 教育部薄膜与微细技术开放实验室!上海200030; 上海交通大学化学化工学院!
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2004年期
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