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介绍了氧化锌的应用和制备方法,着重研究了磁控溅射中各生长参数如衬底温度、氧分压及工作压强对氧化锌薄膜结晶质量和电学性能的影响.
磁控溅射中生长参数对氧化锌薄膜性能的影响
【摘 要】
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介绍了氧化锌的应用和制备方法,着重研究了磁控溅射中各生长参数如衬底温度、氧分压及工作压强对氧化锌薄膜结晶质量和电学性能的影响.
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年6期
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