【摘 要】
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以多模干涉耦合器为主体,通过载流子注入效应所引起的折射率改变来调整二重像之间的相位差,当折射率下降所引起的相位改变达到π相位时完成开关功能。在AlGaAs/GaAs/AlGaAs外
【机 构】
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浙江大学城市学院信息与电气工程学院,
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以多模干涉耦合器为主体,通过载流子注入效应所引起的折射率改变来调整二重像之间的相位差,当折射率下降所引起的相位改变达到π相位时完成开关功能。在AlGaAs/GaAs/AlGaAs外延材料上,利用两步湿法腐蚀工艺,实际制作了2×2光开关并进行了测试。测试结果表明,工作在1.55μm波段,当注入电流达到160mA时,完成了开关功能。
The multi-mode interference coupler is adopted as the main body to adjust the phase difference between the two images by changing the refractive index caused by the carrier injection effect. When the phase change due to the refractive index is reduced to π phase, the switching function is completed. On the AlGaAs / GaAs / AlGaAs epitaxial material, a 2 × 2 optical switch was actually fabricated and tested by a two-step wet etching process. Test results show that the work in the 1.55μm band, when the injection current reaches 160mA, completed the switching function.
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