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在平面研磨中，研磨盘的磨损也对工件的表面质量有很大的影响，研磨盘的磨损机制一直都是国内外探讨的重点问题。采用固着磨料研磨技术，提出一种多参数平面研磨加工方法，并从研磨盘磨损轨迹分析进行了分析和仿真。结果表明：该平面研磨方法克服传统行星式研磨方法的相关缺陷，并降低轨迹重复率，还获得了分布更均匀的研磨相对速度。