退火温度对IrO2+ZrO2涂层结构和电容性能的影响

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuchianren
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采用热分解法在Ti基上被覆了IrO_2+ZrO_2氧化物涂层。通过XRD、SEM、EDX、XPS和循环伏安法等分析了退火温度对IrO_2-ZrO_2二元氧化物涂层的物相、表面形貌和电容性能的影响,引用非线性方程q~*(v)=A_1exp~(-v/t_1)+A_2exp~(-v/t_2)+y_0计算了涂层的内外活性点。结果表明:IrO_2-ZrO_2涂层的临界晶化温度为340~360℃,340℃退火的涂层物相为非晶结构,360℃退火,含有晶态和非晶态2种结构组织,其离子价态为Ir~(3+)、Ir~(4+)以及过饱和IrO_(2+x)(x>0)。电容性能随着温度的升高呈先增大后减小变化,360℃退火的电极有最大的电容值,与其“非晶态/晶态”两相共存组织结构有关。涂层中质子迁移能力比电子导电能力对电容的影响要大,扫描速度对质子迁移的影响大于对电子导电的影响。 Thermal decomposition method was used to coat the Ti-based IrO_2 + ZrO_2 oxide coating. The effect of annealing temperature on the phase, surface morphology and capacitance of IrO_2-ZrO_2 binary oxide coating was analyzed by XRD, SEM, EDX, XPS and cyclic voltammetry. The nonlinear equation q ~ * (v ) = A_1exp ~ (-v / t_1) + A_2exp ~ (-v / t_2) + y_0 The inner and outer active points of the coating were calculated. The results show that the critical crystallization temperature of IrO_2-ZrO_2 coating is 340 ~ 360 ℃. The coating annealed at 340 ℃ has an amorphous structure and annealed at 360 ℃. It contains two crystalline and amorphous structures, The valence states are Ir ~ (3 +), Ir ~ (4+) and supersaturated IrO_ (2 + x) (x> 0). Capacitance increases first and then decreases with the increase of temperature. The electrode annealed at 360 ℃ has the largest capacitance, which is related to the coexistence of the two phases of “amorphous / crystalline”. The proton migration ability in the coating is greater than that of the electron conductivity on the capacitance, and the influence of the scanning speed on the proton migration is greater than that on the electron conductivity.
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