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由于大尺寸氮化镓单晶难以获得，只能用异质衬底来制作氮化镓器件，因此现在的氮化镓基器件的性能指标还远低于其理论值。氢化物外延法、高压熔体法、助熔剂法和氨热法等许多方法已经用做生长氮化镓大尺寸单晶。其中，氨热法易于实现尺寸扩大，有批量化生产低成本氮化镓晶片的潜力。目前有两个问题仍有待解决。首先是设备，如何增大高压釜口径为液氨溶液提供可靠的设备；第二个是生长工艺，如何以较低的成本得到大面积，低缺陷密度的氮化镓。本文简单综述了氨热法生长大尺寸氮化镓晶体进展。主要内容是关注氨热法的设备和生长工艺。最后探讨了氨热法合