偏振像差相关论文
基于低成本半导体生产的需求,光刻机的产率和分辨率在过去几十年中不断提高。为了增加光刻分辨率,光刻投影物镜的曝光波长不断减小......
大口径光学元件在天文、能源等前沿技术领域内有着重要的作用,它们的高效加工是这些技术进行的保障,而制约大口径光学元件加工的关......
为研究施密特棱镜特性参数与偏振像差之间的关系，通过对施密特棱镜偏振和衍射双重效应得到的衍射积分的理论分析，确定了决定施密特棱......
利用琼斯矩阵分析了大角度入射情况时薄膜诱导的偏振像差，通过理论推导提出了减小薄膜诱导偏振像差的膜系设计方法，即在满足最基本的......
在使用自适应光学系统校正的激光传输系统中,光学薄膜的偏振效应会造成偏振色差,导致自适应光学系统的校正能力下降。基于激光传输......
随着天文探测水平的提高,偏振像差对天文望远镜成像质量的影响逐渐凸显。基于偏振光线追迹,分析了一种用于探测宇宙弱引力透镜效应......
针对自由曲面面型所引起的偏振像差对系统的成像质量和测量精度的影响不可忽略,基于琼斯表示法提出含有条纹泽尼克多项式的自由曲......
超大数值孔径(NA)光刻成像中,掩模保护膜上的入射光线入射角范围增大,用传统方法优化掩模保护膜难以增大斜入射光的透射率。基于薄......
提出一种分析线性偏振照明条件下投影物镜偏振像差对交替相移掩模(Alt-PSM)空间像影响的解析方法。基于矢量光刻成像理论,从掩模空......
为了追随摩尔定律的预言,集成电路光刻成像技术特征尺寸(CD)不断减小,电路制造对光刻成像精度的要求不断提升。为了提高分辨率,采......
本论文系统地归纳总结了光学薄膜的偏振矩阵计算方法和光学系统的偏振像差函数理论。利用光学设计软件CODEV计算了反射式激光光学......
在成像光学系统中，不仅存在着几何像差还存在由于光线偏振态的改变而导致的偏振像差。在望远镜中，屋脊棱镜的特殊结构会导致屋脊面的......
在一般的光学系统设计中，都假设光线服从几何光学规律，认为系统会均匀地传播所有的偏振态。但是只有在光的两个正交偏振分量的振幅变......
偏振像差是影响光学系统性能的重要因素之一,尤其对偏振有严格要求的光学系统来说更是如此.要想提高光学系统的性能,必须控制光学......
为了控制反射式旋转对称光学系统中的偏振效应,对该类系统中的偏振像差进行了分析。在偏振像差理论的基础上,通过偏振光线追迹的方......
期刊
为了验证高数值孔径、大入射角、宽光谱的空间光学系统中偏振像差的存在,在激光数字波面干涉仪上对偏振像差进行了实验研究并做了......
斯密特棱镜的偏振像差导致了成像质量的下降，对斯密特棱镜偏振像差的矫正效果的定量检测成为当务之急。Mueller矩阵法不仅可以用于......
为了检测和表征斯密特棱镜的偏振像差，提出弥散圆检测法和B值检测法，对两种方法的原理进行了阐述，并对具体检测方法进行了介绍。弥散......
为了实现NA1.35投影光刻光学系统高质量成像,在设计过程中除了控制波像差,还需进一步优化光学系统的偏振像差。利用Jones光瞳和物......
为了校正Schmidt棱镜的偏振像差，消除双像和鬼影像现象，根据棱镜Jones矩阵B因子与衍射光强的关系，推导出B因子与屋脊面反射相移差δ之......
一束偏振光经过Schmidt棱镜的两个不同路径,成为两个不同的偏振状态,使得出射光束的偏振态呈现非均匀分布.为了探索偏振态非均匀分......
线偏振光经过斯密特屋脊棱镜后形成2个不同路径的椭圆偏振光，两路径椭圆偏振光经过检偏器后，旋转检偏器在一些特殊的角度时会得到光......
近年来随着偏振光学的迅速发展,人们逐渐意识到偏振能够为光学技术的发展和应用提供更为丰富的自由度。由于独特的空间偏振状态分......
自从1947年第一个晶体管发明以来,以集成电路为代表的半导体技术的高速发展推动了人类社会的数字化和信息化,为我们带来了高效舒适......
深紫外光刻投影物镜是光刻机的核心部件,然而无论是照明光场偏振态的空间分布,还是光刻投影物镜自身的偏振像差都将改变光束的紧聚......
屋脊棱镜在望远系统中常常用于转像和倒像,同时折叠光路,具有紧凑仪器结构的效果。在几何光学中,当屋脊棱镜的两个屋脊面绝对垂直,......
光学系统的偏振像差是影响偏振成像系统偏振探测精度的重要因素之一,特别是在大视场大相对孔径偏振成像系统中。利用偏振光线追迹......
空间激光通信按照通信体制划分为直接探测和相干探测两种方式,其中相干探测方式由于探测灵敏度高、调制方式灵活、通信容量大等优......
近年来,国内集成电路产业伴随着智能产品的普及而迅速发展,国内集成电路市场已经成为全球集成电路主要市场。然而,我国集成电路发......
屋脊棱镜广泛的应用于望远系统中,起着倒像转像的作用同时具有折叠光路以达到紧凑仪器结构的效果,但是由于偏振像差的存在会影响仪......
高NA光学系统一般指的是高NA投影光刻物镜。高NA投影光刻物镜是光刻机的核心组成部分,其成像质量的好坏决定着最终的光刻性能。偏......
基于Fresnel原理,借助Jones矩阵理论,经相应推理导出任意单色光通过单透镜前后入射光束与出射光束偏振方向的偏转角的变化的一般表......
在一般的光学系统设计中,都假设光线服从几何光学规律,认为系统会均匀地传播所有的偏振态。但是只有在光的两个正交偏振分量的振幅......
深紫外光学薄膜在准分子激光器、深紫外光刻机中发挥着重要的作用,它是保证系统达到设计要求的必要条件,也决定了系统的稳定性以及......
为了控制透射式旋转对称光学系统中的偏振效应,提高系统的光学性能,对该系统中的偏振像差进行了分析。在偏振像差理论的基础上,用......
为了分析Schmidt棱镜偏振像差在自然光成像系统中对成像质量的影响,以线偏振光矢量衍射光强分布为基础,利用两种非相干叠加积分模......
综合论述了偏振像差的理论,给出了具体的例子,指出偏振是影响光学系统性能的一个重要因素,要想提高光学系统的性能,必须控制光学系......
目前，浸没式氟化氩（Argon Fluoride，简称ArF）光刻技术是45nm及以下节点极大规模集成电路制造的主要手段。随着集成电路版图上特征尺寸（C......
图形保真是集成电路制造对光刻的基本要求，随着光刻技术发展到45nm及以下节点，偏振光刻图形保真技术面临越来越多的挑战。本文面向45......
超大数值孔径(Numerical Aperture,简称NA)浸没式氟化氩(Argon Fluoride,简称ArF)光刻机,结合多种新型分辨率增强技术(Resolution ......
别汉棱镜是望远光学系统的重要组成部分,但是由于别汉棱镜的特殊结构,会使一束入射光分开成两路光,并且这两路光的s分量和p分量产......
偏振像差是影响光学系统性能的重要因素之一,尤其对偏振有严格要求的光学系统来说更是如此。论述了偏振像差的理论和偏振光线追迹......
