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离轴照明和衰减型相移掩模作为重要的分辨力增强技术,不仅可以提高光刻的分辨力,同时还可以改善成像焦深,扩大光刻工艺窗口,实现65......
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在个性化需求膨胀的今天,新技术满足了人们的新需求,新产品带来新享受,惠普Color LaserJet 5500将带来前所未有的感觉.......
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目前,光刻技术仍然是超大规模集成电路制造的主要手段,随着集成电路特征尺寸(CD)的不断缩小,集成电路制造对光刻分辨力的要求也越......
