双频激光干涉相关论文
基于Kretschmann结构,建立了一种具有四层介质的光纤表面等离子体共振(SPR)传感器理论模型。通过仿真可知,当折射率为1.333～1.336时......
为完成快速、精确的外观轮廓度量,设计了一种新型纳米级精度分光路双频干涉度量系统。系统由低频差双频激光干涉度量模块和微探头......
在半导体设备当中投影光刻机应是最为精密复杂的设备,其维修工作具有高度的技术性。论述了NSR1755i7A投影光刻机自动对准系统的工......
文章基于双频激光干涉与数字图像处理技术以及应用傅里叶变换分析干涉条纹方法,分析实现对薄膜厚度的自动化测量。系统采用了两个......
双频激光干涉仪以其高精度、强抗干扰能力等独特优势在精密机床检测、集成电路加工设备、纳米测量等许多领域获得了广泛的关注与应......
介绍信息工程大学测绘学院仪器检修中心开发研制的双频激光干涉多功能平台的安装调试与测量原理。验收表明 ,该多功能检测平台具有......
由于不同类型的精密数字水准仪,其测量原理不同,条码标尺也不同,因此目前尚无统一的检测方法.文中提出一种适用于检测不同型号的数......
为了能够精确检测到测试转台在低速运行下的角速率,设计了一种基于双频激光干涉仪的角速率精度检测系统。首先,对本检测系统各项误......
为获取光学平台多自由度微振动信息,设计了一种基于平面镜双频激光干涉的三自由度动态微振动测量系统。该系统利用激光多普勒效应,......
惯性器件的研制一直是各国军事技术的核心,且各国对此实行严格的技术封锁。提高惯性器件的精度和性能,是满足我国国防装备需求和提......
