微晶硅相关论文
固体物质种类繁多、分类各异,但就其内部结构而言,可分为结晶体与非结晶体两类。近十多年来,非晶态的研究有长足发展。非晶态硅(a......
用等离子增强化学沉积方法在柔性不锈钢(stainlesssteel—SS)衬底上制备了n-i-p非晶硅/微晶硅叠层太阳电池，重点研究了叠层电池隧穿......
本文阐述了a-Si:H薄膜样品的制备条件和实验观测条件,通过动态观测获得了非晶硅、微晶硅与多晶硅之间的转变点参数,从微结构的观点......
微晶硅（μc—Si：H）是国际公认的新一代硅基薄膜太阳能电池材料。综述了微晶硅的基本特性，器件质量级材料的表征参量，材料的生长技术，微晶......
期刊
柔性衬底上非晶硅薄膜太阳电池的研究是当前光伏学领域中最活跃的研究课题之一。与玻璃衬底相比，柔性衬底太阳电池具有很多优点，比如......
硅薄膜材料和电池研究已经成为热点，开发低价、稳定和高效率的太阳电池是光伏研究的目标。微晶硅薄膜电池克服了非晶硅薄膜电池光致......
在当今世界经济飞速发展的背景下,环境污染和能源短缺问题日益严重。为满足社会可持续发展的需求,不断探索新型绿色能源已经成为世......
本文主要针对全固态染料敏化纳米晶/微晶硅薄膜复合太阳电池内光生电子空穴分离、迁移和复合抑制机理做了研究。通过掺杂研究......
柔性衬底对于提高太阳电池的重量比功率有显著的作用,而且对于空间应用具有较大的吸引力.基于这一目的,我们采用四室连续RF-PECVD......
本文以提高微晶硅的沉积速率为目标,在研究了单一沉积参数对微晶硅薄膜沉积速率影响的基础上,主要研究了采用甚高频(75MHz)化学气......
随着经济的发展，能源危机日益加重，无污染的光伏发电受到了大家的广泛关注。微晶硅薄膜太阳能电池既有高效率和稳定性好的优点，又有节......
本文采用VHF-PECVD技术制备了两个不同硅烷浓度(SC)系列的微晶硅薄膜,通过椭圆偏振技术研究了微晶硅薄膜的微结构和表面粗糙度随沉......
本文中，我们采用空心阴极等离子体增强化学气相沉积（MHC-PECVD）在玻璃、表面溅射氧化铟锡（ITO）的玻璃（玻璃+ITO）以及表面溅射ITO的聚酰亚......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
介绍了正泰太阳能在硅基叠层薄膜电池上的主要技术进步,包括TCO优化、新型氧化物掺杂层的引入、弱光效应、温度系数改善等.这些技......
作为光伏的一个重要领域,硅基薄膜电池技术在过去5年有了长足的发展,特别是近期硅基叠层薄膜电池的引入和产业化更显著提高了薄膜......
报道了SiCl4/H2等离子体化学气相沉积方法制备的未掺杂微晶硅薄膜,在短时间光照或加上直流偏压后其室温暗电导随时间缓慢变化的行......
采用高压射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在不同功率下制备了一系列硅薄膜材料,研究了材料晶化率和生长速度随功率变......
用热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积制备样品,通过红外吸收谱图和光衰退图,分析影响a-Si:H薄膜光衰退稳定性的因素:一方面,非......
针对氢化微晶硅薄膜吸收系数较低、制备需要较高厚度,从而需要较高沉积速度的问题,考虑到压强对沉积速度及晶化比的重要影响,在分......
针对两种a-Si(n)/c-Si(p)异质结太阳电池结构,应用AFORS_HET软件,分析氧化非晶硅(a-Si:H)和氢化微晶硅(μc-Si:H)两种材料作为背面......
近年来,微晶硅(μc-Si:H)被认为是一种制作 TFT 的有前景的材料.采用PECVD法,在低于200℃时制作了微晶硅TFTs,其制作条件类似于非......
采用VHF-PECVD技术沉积硼掺杂的P型微晶硅薄膜材料,在硅烷浓度(SC)为0.8%,反应气压93Pa时,随等离子体功率的增加,材料的晶化率和电......
本文国内首次报道了采用高压RF-PECVD技术沉积本征微晶硅材料的结果.实验表明,增大等离子体激发功率和减小硅烷浓度都能够使薄膜材......
建立二维流体模型,研究甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PEVCVD)高速沉积氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜.模型采用平行电容耦合放电方式......
本文运用AMPS-1D软件模拟仿真了P型微晶硅窗口层材料对pin型太阳电池性能的影响。结果表明，太阳电池的性能随窗口层材料带隙的变化......
采用微区拉曼散射、傅立叶变换红外吸收和光热偏转谱对VHF-PECVD制备的不同衬底温度硅薄膜进行了微结构分析.结果表明:随衬底温度......
为了减低非晶硅薄膜太阳能电池的光致衰减效应和提高其光电转换效率，用等离子体化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜，用波长为248n......
利用激活能测试装置测量了VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜的激活能，结果表明，在不同沉积条件下制备的本征微晶硅薄膜的晶化处于......
本文在微晶硅材料性能研究的基础上制备了微晶硅薄膜晶体管（TFT）。发现微晶硅的柱状生长模式会导致其结构和电学性能的不均匀性。由......
对等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)制备的微晶硅(μc-Si)薄膜的电导率、光学带隙和晶化率随温度和功率的变化规律进行了研究.......
报道了采用YAG脉冲激光器对硅基薄膜进行晶化制备多晶硅的实验结果，其中主要针对以PECVD法制备的不同硅基薄膜（如非晶硅和微晶硅）为晶......
对底栅微晶硅TFT的微晶硅材料生长孵化层问题进行了详细讨论,发现低硅烷浓度是减薄该层厚度的有效途径.同时又发现,以SiNx为栅绝缘......
通过改变硅烷浓度对微晶硅薄膜材料进行沉积,研究了硅烷浓度与微晶硅晶化率的关系,拉曼光谱的拟合结果表示硅烷浓度越高微晶硅薄膜......
研究了离子束溅射制备微晶硅薄膜的生长纵向结晶演化过程。纵向分布Raman光谱分析显示，当硅薄膜厚度减薄时，表面硅层的结晶峰强度明......
采用射频(rf)激发,在热丝化学气相沉积(HWCVD)制备微晶硅薄膜的过程中产生发光基元,测量了rf激发HWCVD(rf-HWCVD)的光发射谱,比较......
微晶硅NIP太阳电池具有许多优点，如用于制备柔性太阳电池可极大地扩展太阳电池的应用空间，保护窗口层免受等离子轰击以保持其性能，以......
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅顶电池,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备微晶......
光伏发电是近些年发展最为迅猛的能源技术,20世纪80年代以来,太阳光伏电池一直保持15%～25%的发展速度,进入21世纪,年增长率保持在35......
主动式有机电致发光显示器件（AM-OLED）作为新一代显示技术,已经成为当前研究的热点,而薄膜晶体管（TFT）作为AM-OLED的核心部件。薄膜晶......
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在高沉积功率、低衬底温度的条件下沉积微晶硅薄膜材料.光发射谱(OES)测量技术对......
综述了热丝化学气相沉积法（HWCVD），制备多晶硅薄膜的发展过程，着重介绍了这种制备方法在近几年的研究进展，并展望了今后发展趋势和前景......
采用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)技术在不同衬底温度条件下沉积了氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜,并通过光发射谱(OES)测量......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
相对于单晶硅和非晶硅来说,微晶硅薄膜太阳电池具有更多的优势。高速沉积高效微晶硅太阳电池已经成为当前研究的热点。综合介绍了......
