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使用六氯化二硅作为CVD（化学气相沉积）原料,可以低温气相合成SiC或Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>涂层。此外,在金属成合金气体渗硅时,......
对用硅烷－氢（ＳｉＨ４／Ｈ２）混合气体在Ｃｕ表面进行化学热处理获得的含硅涂层进行了抗氧化性研究．结果表明，纯铜表面含硅涂层的形成提高了材料的抗氧化性......
