溅射参数相关论文
氮化钛薄膜具有出色的涂层性能，如高硬度、低电阻率和良好的耐蚀耐磨性等，在汽车、航空航天和生物医学中有着广泛的应用。磁控溅射技......
高温超导材料是当代凝聚态物理中最重要的研究领域之一,也是新材料科学研究领域一个重要的科学前沿。高温超导材料自从发现之日起,......
钼及钼合金被广泛应用于矿业、化工、航空航天、核工业等诸多领域。但其在高温有氧环境中易氧化,应用受限。因此,研究并改善钼及钼......
ITO薄膜被认为是光电综合性能最优的透明导电氧化物薄膜之一,其在工业上也有广泛的应用,但是ITO薄膜的原料金属铟资源稀少,因此近......
研究了溅射参数对 Ge2 Sb2 Te5 薄膜的光学常数随波长变化关系的影响 ,结果表明 :(1)当溅射功率一定时 ,随溅射氩气气压的增加 Ge2......
期刊
采用有交互作用的正交实验方法对磁控溅射法在玻璃基片上制备FePt／Ag纳米双层膜Ag底层的溅射参数进行研究．通过直观分析，方差分析和XR......
在SmCo/Cr薄膜中,Cr底层的取向结构对薄膜的磁学性能有很大的影响.设计了4因素3水平的正交实验L9(34),并通过数理统计的方法分析了......
采用射频磁控溅射法在SrTiO3衬底上制备YIG薄膜,基于薄膜的成核理论研究溅射参数对薄膜结晶性、表面形貌和磁性的影响。结果表明,......
采用反应性磁控溅射法制备了NiOx薄膜，并结合椭圆偏振仪、XRD和XPS研究了溅射参量对其光学常量的影响．NiOx薄膜的光学常量随着O2／Ar流......
对直流磁控溅射方法制备Fe—Si化合物的工艺过程进行了研究．首先通过改变溅射气压，溅射功率和Ar气流量，在Si（100）衬底上沉积约100nm纯金......
为研究磁控溅射对纺织材料性能的影响,利用JPGF-450I型磁控溅射镀膜机,以锦纶织物为基材,制备纳米铝膜。通过改变溅射功率、工作压......
梯度薄膜是一种涂覆型梯度材料，具有均质薄膜无法比拟的优越性。溅射法效率较高且环保，较广泛地应用于梯度薄膜的制备。对于反应溅射......
磁记录存储系统中通常使用复合磁头，它包含两部分：一是写入信息的软磁薄膜写磁头，另一个是读取信息的GMR读磁头。这两部分性能的优劣......
利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜（TEM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响，利用振动样品磁强......
利用直流磁控溅射的方法制备Ni80Cr20合金薄膜，以氩气流量、氩气工作压强、溅射功率作为三因素进行正交试验，在溅射时间相同的条件下......
采用直流磁控溅射法制备SmCo/Cr薄膜磁记录材料, 通过改变Cr底层制备过程中的功率、靶基距、溅射压强和溅射时间, 得到了磁性能不......
掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜作为一种性能优异的多功能材料引起了研究人员的普遍关注，被认为是当前极具发展潜力的传统铟锡氧化物（ITO......
通过先后调整溅射沉积时间、溅射功率以及溅射气压等镀膜参数,然后结合所镀样品的反射率测量,分析了镀膜参数对铝膜反射率的影响;......
