纳米计量相关论文
纳米计量技术是纳米尺度上的精密测量技术，是先进纳米制造技术的基础。其中，溯源性是纳米计量的基础问题，而研制纳米计量标准物质是实......
基于双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统的薄膜厚度测量方法,通过膜厚比对分析对椭偏仪进行能力认证,实现纳米薄膜的高精度测量研究.......
原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研......
准确的纳米几何特征尺寸测量是提高集成电路等微纳技术产品质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须在国家层面......
采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准。基于粒子光学模型，综合考虑横向发散角、纵向......
利用蒙特卡罗随机思想选取轨迹初始条件,将铬原子束同位素、纵向速度分布和横向高斯发散角等因素综合考虑,对原子光刻经典粒子模型......
扫描探针显微镜(SPM)是一种具有原子级分辨率的新型显微工具,其厚度测量量值在单原子层厚度(......
原子力显微镜作为扫描探针显微镜的一个重要成员，是纳米科学技术中的主要工具之一。由于具有纳米甚至原子量级的超高分辨率和柔性的......
利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于......
介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪.提出了耦合差动干涉的新方法.通过对光程差进行倍增,提高了干涉仪的分辨率和稳定......
为实现纳米薄膜厚度计量的量值溯源,研制了一套纳米薄膜厚度校准样片,其中纳米单层膜厚度标准片带有可供各类接触式测量仪器测量的......
针对纳米结构表征和纳米制造的质量控制需要,中国计量科学研究院设计并搭建了一台计量型原子力显微镜用于纳米几何结构的测量.为了......
单晶硅晶格间距是许多重要物理常数测量的基础。本文介绍了硅晶格间距测量技术的发展历程,包括X射线干涉仪直接测量和晶格比较仪间......
研制了用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜，介绍了双元扫描隧道显微镜的原理和仪器系统，利用该系统对原子晶格图象进行扫描，验证了纳米......
纳米是英文(namometer)的译名,是长度计量单位的一种,1nm等于1μm的1/1000,是1m的10亿分之一.略等于4至5个原子排列起来的长度,正......
介绍了我们研制的一种高精度、具有计量学意义的原子力显微镜测头.该显微测头与其它部件协同工作在50 mm×50 mm×2 mm的......
概述当前国内外纳米材料结构膜厚参数的计量现状，针对我国目前纳米膜厚尚未建立计量溯源体系，提出一种可实现纳米膜厚的量值溯源的途......
微/纳米级台阶高度的精确测量是纳米计量技术领域中重要的研究工作。文中提出了一种以精确定位为前提的多区域坐标组合台阶高度测......
本文主要描述激光聚焦方法在纳米计量领域的应用。利用该方法在纳米测量机平台上对各种标准台阶进行测量验证,并对测量过程中对结......
对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长......
1引言扫描探针显微镜(SPM)由于具有纳米甚至原子量级的分辨率,20多年来已引起各个领域科学家们的广泛兴趣.在精密工程领域,它作为......
为了说明原子光刻（Atom Lithography）在纳米计量及传递作用中的特殊地位，首先对纳米计量标准及其现状进行了简要介绍，提出纳米计量中原......
采用原子力显微镜以TOP-DOWN方式测量单晶硅刻线单侧形貌。提出以单次扫描线上5个最低测量值的平均值为高度参考点且各条扫描线参......
回顾了步进高度测量技术在纳米计量中的应用.分析了在步进高度测量技术中的一些分析方法、算法和误差源,表明了不同的算法会导致不......
中国计量科学研究院(简称计量院)作为国家最高的计量科学技术研究机构和法定检定校准中心,现有国家计量基标准302项.......
利用轻敲模式的计量型AFM对公称栅距为240nm一维基准样板进行了标定,在充分分析AFM的结构和特性、测量过程、数据处理的基础上,得......
分析了现有线边缘粗糙度（Line Edge Roughness,LER）表征参数的不足,针对二维LER的表征参数信息量缺失,提出了基于子波中面的LER参数......
针对纳米计量高分辨力的要求，应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统。该系统光源由保偏光纤......
二维纳米格栅是纳米测量仪器的重要校准标准之一,也是国际计量局长度咨询委员会(BIPM/CCL)组织的五种纳米计量标准比对项目之一.计......
纳米计量不仅提供测量和表征纳米材料及器件基础,同时在纳米生产工艺控制和质量管理领域也扮演重要角色.纳米技术就某种意义上讲就......
给出采用原子力显微镜（Atomic force microscope,AFM）测量线宽粗糙度（Line width roughness,LWR）的分析步骤。分析线宽和LWR及其偏差随......
针对原子光刻技术在纳米计量及传递作用中的特殊地位,介绍了该技术的基本原理、方案、刻及Cr原子光刻实验.通过与其他微刻印方法的......
计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成．针对计量型原子力显微......
提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上．该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行，具有亚微米级的......
现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展，对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求。目前的一些测量方法......
从计量与仪器科学技术的作用和重要性方面论述其基本特征和发展趋势。其中用顶天立地４个字来概括；顶天是它的发展与所有尖端和前沿科......
介绍一种使用激光干涉仪结合单轴精密位移台对电容式位移传感器进行校准的方法。建立了一套高精度电容式位移传感器校准装置，利用单......
原子力显微镜是纳米科技的重要测量手段,本课题围绕原子力显微镜的计量化进行了系统的研究和分析,包括计量型原子力显微镜的建立、......
对目前线边缘粗糙度（Line edge roughness，LER）的研究进行了分类，区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙（边缘）粗糙度的物理本质。重新给......
随着纳米研究和纳米加工技术的发展,国际上越来越重视对纳米测量的有效性和溯源性。国际计量局(BIPM)尺度计量长度工作组(CCL-WGDM......
对扫描探针显微镜（SPM）仪器漂移的定量测量的几种方法进行探讨，提出应用二维零位标记进行漂移测量．分析比较使用普通样品、周期二维光......
为了实现纳米薄膜厚度的高精度计量,研制了可供台阶仪、扫描探针显微镜等接触测量的纳米薄膜样片,研究了X射线掠射法测量该纳米薄......
现在随着半导体产业的快速发展，芯片和MEMS器件的尺寸已经从微米向100纳米甚至10纳米量级迈进。相应的，对这些芯片和器件的检测范围......
论文开展的创新性工作包括以下几个方面： 1．相位偏移干涉移相误差补偿技术研究。在研究相位偏移干涉测量技术基础上，重点研究了五......
微位移通常是指位移范围仅为至几毫米甚至几微米,而测量准确度则达到纳米亚纳米级。微位移测量方法很多,这些测量方法的准确性检验......
