非平衡磁控溅射相关论文
合理开发海洋资源能有效改善日益严峻的能源问题,然而,海洋环境腐蚀性强,金属装备在该环境下容易失效。利用物理气相沉积技术在金......
类金刚石(DLC) 薄膜可用作红外增透保护膜,高的薄膜残余应力造成薄膜附着力下降是目前应用中存在的主要问题之一.本文从DLC薄膜作......
20010401 使用液态原材料和直流等离子物理气相沉积法制备SiC涂层 ——Wilden J. Galvanotechnik, 2000.91(6):1 680(德文)示出了S......
本实验采用非平衡磁控溅射法在Si基板上制备金属V薄膜,拟研究工艺参数对V薄膜结构的影响,并探究V薄膜的性能与结构之间的联系。用X......
我国海洋资源丰富,在陆地资源匮乏的情况下,海洋资源开发刻不容缓。但海水中富含多种元素,具有强腐蚀性,此外,大多数海洋设备零件......
随着现代切削技术的飞速发展,对刀具的性能要求越来越高。利用表面涂层技术,对刀具表面进行改性处理,是一种提高刀具综合性能的有......
随着现代模具制造技术的飞速发展,对模具的性能要求越来越高。通过表面沉积制备硬质薄膜对模具钢表面进行处理,能有效提高其使用性......
双金属纳米薄膜材料由于其独特的力学、电学和磁性能而备受关注。双金属纳米薄膜材料通常具有独特的催化性能,超导性能等,此外纳米......
电接触材料长期服役于滑动接触环境易磨损失效,故有必要研究开发导电性能优异且减摩效果显著的复合材料。非平衡磁控溅射技术沉积......
学位
MoS_2是一种常见的固体润滑材料,被誉为固体润滑材料之王,具有典型的二维层状结构,晶体为六方晶系。这种层状结构使得MoS_2层间容......
采用非平衡磁控溅射方法在316L不锈钢表面制备了不同形态与组织结构的铝膜,以该铝膜为模板,通过阳极氧化的方法,在316L不锈钢基体......
针对目前国内柴油机轴瓦减摩涂层研究的不足,采用非平衡磁控溅射技术制备AlSn20Cu涂层,通过单因素变量法系统地研究基体温度、沉积......
非平衡磁控溅射(UBMS)是上世纪90年代，由国外的学者提出。在制备大面积均匀薄膜上非平衡磁控溅射有一定的优势，它具有较大的离子密度......
该论文结合总装备部武器装备先进制造技术预研项目"微波等离子体沉积与脉冲电弧镀技术",对采用磁控溅射新技术——非平衡磁控溅射......
类金刚石薄膜作为一种新的功能材料,已经引起国内外学者的高度重视,并且在很多方面得到了应用.本文研究类金刚石薄膜在硅太阳能电......
工业的发展对材料性能提出了越来越高的要求，利用超硬膜进行材料表面防护是改进材料性能的一个重要途径。在不改变材料整体性能的前......
随着汽车工业的迅速发展，相应的汽车配套零部件的需求也在日益增加，其中，汽车冷冲件的质量和成本在很大程度上取决于模具的质量和寿命......
本文采用非平衡磁控溅射沉积和Ar~+刻蚀技术,制备了一系列具有不同表面特征的Ti-O薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(X......
随着中国汽车工业的迅速发展，提高冷作模具的使用寿命，以其满足日益增加的汽车配套零部件倍受人们的关注。典型的Crl2MoV冷作模具钢......
本文采用非平衡磁控溅射方法在调质处理后的AISI 4118铬钼钢表面沉积了含Ti类金刚石(Ti-DLC)膜。利用高分辨电子显微镜(HREM)、原......
本论文较为系统地研究了Ti-O系薄膜的晶体结构、化学成分、能级状态、表面形貌、物化性质、机械性能及血液相容性,并研究了薄膜的......
在环锭细纱机进行纺纱的过程中，作为关键部件的钢领与钢丝圈常常需要在高温、高压、高速的状态下进行高频式跳跃性滑动，从而实现对纱......
钛合金具有比强度高与抗腐蚀性能优异等特点，在航空航天、生物医学工程、建筑与机械等方面有广泛应用。但是，钛合金高温化学活性大、......
本文利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备在H13钢基体上沉积得到了CrNiTiAIN新型五元复合涂层。采用SEM、EDS、XRD等一系列测试手......
类金刚石(Diamond-Like Carbon,简称DLC)薄膜是一类含有sp3和sp2结构的非晶碳膜。因具备优异特性如高硬度、低摩擦系数、强抗磨损......
血液相容性是血液接触生物材料的一个关键问题,血液相容性的提高对生物材料的发展和应用至关重要。前期的研究表明,氧缺失Ti-O薄膜......
手性分子是一类具有相同组成,仅仅是空间构型不同的化学分子。这类分子的物理性质相同,化学性质也基本相同,但由于其空间构型的不......
对靶非平衡磁控溅射系统由两个相对磁控溅射靶和一个磁镜场约束系统构成 ,通过调整电磁线圈的激励电流可以控制磁镜场的空间分布状......
研究了调制磁场对于非平衡磁控溅射系统的作用 ,调制磁场可以使非平衡磁控溅射形成具有较高等离子体密度的等离子体束流 ,延伸到靶......
非平衡磁控溅射(U BM S)技术近年来得到了广泛地应用。采用该技术制备的类金刚石薄膜(DLC)具有许多独特的性质。本文利用正交实验......
镁基材料表面进行微弧氧化处理(MAO)制备的多孔结构的陶瓷涂层在干摩擦环境下的摩擦系数较高,本文采用微弧氧化结合非平衡磁控溅射......
将电弧离子镀和中频非平衡磁控溅射工艺相结合制备了Ti1-xAlxN薄膜。利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪、摩......
采用非平衡磁控溅射技术在硬质合金基体上制备了TiAlN薄膜。在400℃-800℃对试样进行氧化实验,利用XRD,SEM,精密电子天平等对TiAlN......
目前液压杆件基本上采用电沉积的方法在基体表面沉积一层Cr膜,以此来满足其耐热、耐磨和抗腐蚀要求,但电沉积Cr不但浪费能源而且对......
为有效提高手表外观件表面的耐磨、耐蚀性能和装饰性能,采用阳极层流型气体离子源结合非平衡磁控溅射技术,制备了梯度过渡掺钛类金......
利用四靶闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)技术在石英玻璃和抛光不锈钢片两种基底上制备含有Cr、Ti和Al元素组合的各种氮化物涂层。采......
沉积速率是影响薄膜性能的重要参数,直接影响着薄膜质量的优劣.本文采用磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积钛膜.通过对比研究了平衡磁......
采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,大面积地在不同基体上制备了光滑、均匀的类金刚石(DLC)膜层,用SEM、Raman、XPS、硬度......
采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球......
本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,以甲烷气体为碳源,99.99%Ti为靶材制备了TiC/DLC多层膜。利用X射线衍射仪、电子显微镜、俄歇电子......
利用非平衡磁控溅射物理气相沉积技术制备了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.分析沉积工艺参数对所得类金刚石薄膜的电学特性的影......
应用电磁场分析中的一种新方法--半解析法,对一种典型的非平衡磁控溅射系统进行了磁场分析. 结果表明,应用半解析法计算,求解变量......
研制了一台以NiosII嵌入式处理器为核心的非平衡磁控溅射（Unbalanced Magnetron Sputtering,简称UMS）高性能电源。采用片上可编程系......
采用4靶非平衡磁控溅射离子镀技术,在高速钢和硅基体上制备出不同Cr含量的掺铬类石墨镀层,研究了类石墨镀层的显微硬度、摩擦系数......
将非平衡磁控溅射和电弧离子镀工艺相结合，并使用霍尔离子源辅助，制备了过渡层为Cr、掺杂Ti和N的DLC薄膜。对DLC薄膜的表面形貌、内......
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相......
利用非平衡磁控溅射离子镀技术研究了不同氮气流量对TiN薄膜结构、摩擦性能、附着力及显微硬度的影响。研究结果表明：N2流量对TiN薄......
