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Slo-Gel工艺相关论文
ZrO_2掺杂对SnO_2薄膜电性及气敏性的影响
本研究不用金属酸盐而以无机盐SnCl2·2H2O为主体原料;以Zr(OC3H7)4为掺杂剂;无水乙醇为溶剂,采用溶胶-疑胶(Sol-Gel)工艺制备了不同ZrO2......
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ZrO_2
Slo-Gel工艺
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吸附氧
磁控溅射
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