结合<洁净厂房设计规范>与超大规模集成电路制造工厂的特点,阐述了照明电源、照度标准、备用照明、照明灯具的选择及安装等,介绍了......

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<正>GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》自2013年9月1日起实施,其中,第3.0.1(1,2,3),4.2.3(1),4.4.1,5.2.1,5.2.4～5.2.11,5.3.5,5.3......